[发明专利]半导体晶圆芯片筛选设备有效
| 申请号： | 202210401027.6 | 申请日： | 2022-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN114472129B | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 冯艾诚;李健儿;冯永;胡仲波;蒋红全;周建余 | 申请（专利权）人： | 四川上特科技有限公司 |
| 主分类号： | B07B1/08 | 分类号： | B07B1/08;B07B1/28;B07B1/46;H01L21/67 |
| 代理公司： | 成都诚中致达专利代理有限公司 51280 | 代理人： | 曹宇杰 |
| 地址： | 629201 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体芯片制备技术，公开一种半导体晶圆芯片筛选设备，包括：螺旋输送槽，其投影呈圆环状，高一端的上方为进料位，低一端用于出料；第一旋转机构，位于螺旋输送槽中心，并设于下座，其输出轴竖向朝上设置；筛选机构，有多个，呈圆周间隔设置，包括筛网篮，筛网篮通过连接件连接到连接板，连接板连接于第一旋转机构输出轴周侧，连接板上设有振动马达，用于对筛网篮进行振动；其中，螺旋输送槽位于筛网篮转动轨迹的下方，且螺旋输送槽宽度大于筛网篮外径。本发明可替代人工筛选方式，实现自动化流水式筛选及流水式接料输送，提高筛选效果和该环节的处理效率。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 芯片 筛选 设备 | ||
【主权项】：
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