[发明专利]大底宽小尖角脉冲压缩金属光栅及其制备方法与应用有效
| 申请号： | 202210388807.1 | 申请日： | 2022-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN114879293B | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 晋云霞;韩昱行;张益彬;曹红超;孔钒宇;邵建达 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 兼容大方位角、超400nm带宽大底宽小尖角金属脉冲压缩光栅，包括光栅参数优化设计和制备工艺。所述的光栅其底宽占比需大于0.6，形状因子为0.5～2.5，槽深为160～250nm，线密度为1300～1650g/mm。所述的制备工艺包括基底清洗、涂胶、烘烤、曝光、显影和金属膜镀制。本发明的宽带高效率光栅具有大底宽小尖角结构，在正负15或20°的大方位角内，TM偏振光以‑1级Littrow角入射时，光栅在超400nm带宽内效率超过90％。本发明的光栅及相关工艺参数可支撑数百拍瓦单周期脉冲压缩光栅储备。 | ||
| 搜索关键词： | 大底宽小尖角 脉冲 压缩 金属 光栅 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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