[发明专利]湿度传感器有效
| 申请号： | 202210387911.9 | 申请日： | 2022-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN114813846B | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 李维平;兰之康;管武干;朱滨峰 | 申请（专利权）人： | 南京高华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明;赵吉阳 |
| 地址： | 210046 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种湿度传感器，包括：基板；共面波导信号线，悬设在基板上，共面波导信号线的长度大于其投影长度；第一共面波导地线和第二共面波导地线，分别设置在共面波导信号线两侧；第一匹配电阻和第二匹配电阻，分别将共面波导信号线与对应的共面波导地线连接；热电堆，与共面波导信号线相对间隔设置；至少一个湿度敏感元件，湿度敏感元件设置在共面波导信号线上。本发明的湿度传感器，通过微电子加工工艺，结构尺寸的精度可以达到较高水平，体积大幅缩小，实现传感器的微型化；响应速度快，灵敏度高，结构新颖；测量方式简单，极大拓展了湿度传感器的实际适用性。 | ||
| 搜索关键词： | 湿度 传感器 | ||
【主权项】：
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