[发明专利]一种基于Bi2在审

专利信息
申请号: 202210381607.3 申请日: 2022-04-13
公开(公告)号: CN114725245A 公开(公告)日: 2022-07-08
发明(设计)人: 凌翠翠;薛鑫;傅嘉文;冯冰心;曹敏;张拓;姬洪光;王敬尧 申请(专利权)人: 中国石油大学(华东)
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;C23C14/18;C23C14/35;C23C16/01;C23C16/30;C23C28/00;H01L31/0392;H01L31/109
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 266580 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明属于光探测技术领域,具体涉及一种自驱动光电探测器,该自驱动光电探测器,由上至下依次包括金属In点电极、金属Pd前电极、硒氧铋薄膜层和硅单晶基底。硒氧铋薄膜层通过旋涂法、空气退火处理、化学气相沉积、湿法转移等方法制备。测试结果表明,构建异质结极大地提高了硒氧铋基器件的光响应性能,且该器件表现出良好的自驱动光探测性能。
搜索关键词: 一种 基于 bi base sub
【主权项】:
暂无信息
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