[发明专利]基于几何移相器的双波长正交相位偏置锁定干涉测量方法

摘要

本发明公开了一种基于几何移相器的双波长正交相位偏置锁定干涉测量方法，是将波长分别为λ1和λ2的两束光以线偏振态入射至正交相位偏置的分振幅型干涉仪的光路中，以波长为λ1的光束作为探测光束实现相位检测，以波长为λ2的光束作为反馈光束用于监测分振幅型干涉仪光路相位偏置是否正交，实现干涉仪正交相位偏置的实时锁定，两束光之间的色差引起的移相误差通过由1/2波片和1/4波片组成的几何移相器进行矫正，避免噪声源对干涉仪正交相位偏置的影响，使干涉仪始终保持良好的相位检测线性度和灵敏度。