[发明专利]电场传感器有效
| 申请号： | 202210356949.X | 申请日： | 2022-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN114428189B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 李鹏;田兵;李立浧;林跃欢;骆柏锋;尹旭;吕前程;刘仲;张佳明;王志明;陈仁泽;徐振恒;韦杰;谭则杰;林秉章;樊小鹏;孙宏棣;林力 | 申请（专利权）人： | 南方电网数字电网研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 周清华 |
| 地址： | 510700 广东省广州市黄*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种电场传感器，包括：衬底；固定电极，与衬底固定连接；压电驱动层，第一侧面与衬底连接；可动电极，设置在压电驱动层的第二侧面上，且与固定电极构成一敏感结构；可动电极和固定电极互为屏蔽电极作用；压电驱动层在驱动电压作用下垂直振动并带动可动电极垂直振动，使固定电极和可动电极分别周期地暴露于待测电场中，从而在固定电极和可动电极上产生周期性的电荷变化，产生与待测电场强度相关的感应电流，通过采集固定电极和可动电极输出待测电场强度相关的感应电流。通过将压电驱动层设置在可动电极和衬底之间，以节省垂直方向上的空间，减小器件尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 电场 传感器 | ||
【主权项】：
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