[发明专利]柔性电容式压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202210354079.2 | 申请日： | 2022-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN114777965A | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 董和磊;于仕辉;谭秋林;熊继军 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;A61B5/00 |
| 代理公司： | 北京致科知识产权代理有限公司 11672 | 代理人： | 董玲;魏红雅 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开一种柔性电容式压力传感器及其制备方法，涉及传感器件技术领域，其中，柔性电容式压力传感器由下至上依次包括：第一柔性电极、第一柔性介质层和第二柔性电极，第一柔性电极和第二柔性电极均包括具有褶皱表面的柔性基底和分散在褶皱表面上的金属纳米线。由于柔性电极包括具有褶皱表面的柔性基底，且该柔性基底的褶皱表面上分散有金属纳米线，即使在柔性电极被拉伸的情况下，褶皱展开，分散在褶皱表面上的金属纳米线的密度仍能保持柔性电极良好的导电性能，因此能保证该传感器的灵敏度基本不变，另外，柔性基底的褶皱可以减少拉伸应力，更便于拉伸，使得该传感器具有较好的延展性。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 电容 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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