[发明专利]一种基于超结构色散共焦的复杂曲面形貌测量方法及系统有效
| 申请号： | 202210347541.6 | 申请日： | 2022-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN114719774B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 朱吴乐;吴佳君;赵冉;孙安玉;居冰峰 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 朱月芬 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于超结构色散共焦的复杂曲面形貌测量方法及系统，宽谱激光光源发出的光线经传输光纤、耦合器和光纤准直器后变为平行光，再由微型色散共焦探头产生光谱色散，聚焦于被测表面的光线反射回光谱仪，通过微处理器解码光谱‑距离映射关系获得测量值，最后配合精密三维运动台和大量程平移台对复杂曲面形貌进行全域扫描。该方法将平面超结构与色散共焦技术相结合，提供一种能够代替传统色散共焦透镜组的微型色散共焦探头，具有可设计性强、结构小巧、轻薄、能同时实现轴向和径向色散等特点，可以完成对复杂曲面甚至异形结构表面形貌的超分辨测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 结构 色散 复杂 曲面 形貌 测量方法 系统 | ||
【主权项】：
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