[发明专利]微单元阵列和双边极板耦合空心阴极气相沉积装置与方法

摘要

一种微单元阵列和双边极板耦合空心阴极气相沉积装置与方法，属于半导体材料制备领域。具体包括极板一、极板二、极板三、进气口、抽气口、排气口、冷却水口、底座以及各极板对应的电源，其中极板一与电源一、极板二与电源二、极板三与电源三的负极连接，所有电源正极接地，另外极板一和极板三用于固定样品且均设置有循环冷却水。将基片固定在极板一、极板三上后关闭腔室，向腔室中通入氢气，随后调节电源输出电压，并通入甲烷气体，在极板上沉积大尺寸金刚石薄膜。该装置利用来自微单元阵列产生的空心阴极辉光和双边极板产生的空心阴极辉光耦合，促使气体分子剧烈离化，极大的提高气体离化效率，有利于实现快速、高效的沉积大面积金刚石散热板。