[发明专利]基于等离子体共振的晶体管及其制备方法、太赫兹探测器

摘要

本发明公开的基于等离子体共振的晶体管及其制备方法、太赫兹探测器，将太赫兹天线与晶体管耦合，不仅可以通过调节天线和晶体管电极的集成方式来调节沟道处太赫兹感生电场的分布，还可以通过沟道处二维材料表面的金属纳米颗粒，利用表面等离子体共振原理，进一步的提高感生电场的场强，提高光响应电流。合理设计的天线尺寸可以耦合目标探测频率，沟道处选取迁移率高的二维材料，结合上述设计，协同工作，提高太赫兹探测器的探测性能。