[发明专利]一种可调谐铁磁共振复合薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202210324408.9 | 申请日： | 2022-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN114774858A | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 陈水源;李赫;苏超;霍冠忠;王可;张裕详 | 申请（专利权）人： | 福建师范大学 |
| 主分类号： | C23C14/18 | 分类号： | C23C14/18;C23C14/06;C23C14/28;C23C14/02;C23C14/50 |
| 代理公司： | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人： | 谢勇清 |
| 地址： | 350108 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可调谐铁磁共振复合薄膜及其制备方法，所述复合薄膜包括采用脉冲激光沉积法依次沉积于铁电衬底上的缓冲层Ta层薄膜、FeGaB薄膜、防氧化层Ta层薄膜，所述铁电衬底为铌酸铅镁钛酸铅PMN‑PT。本发明采用脉冲激光沉积技术，制备的磁电复合薄膜更为均匀，具有良好的保成分性，根据探究薄膜制备的激光能量、激光频率等参数以及腔内更替交换靶材的独特制备方式不仅可以确保薄膜厚度的均一性，还可有效提高薄膜材料质量。基于在PMN‑PT铁电衬底上沉积的FeGaB磁电复合薄膜有较好的微波吸收能量信号，使其成为理想的微波材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调谐 磁共振 复合 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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