[发明专利]一种弱自由度深腔内表面图形的激光加工方法

摘要

本发明公开一种弱自由度深腔内表面图形的激光加工方法，包括建立待加工深腔以及深腔内表面表层材料的三维模型，设计目标图形，根据深腔待加工面的尺寸设计目标图形的排布，导出三维点坐标，生成加工轨迹，对待加工深腔进行定位后，对表层材料进行光斑实验，找到最佳刻蚀参数，再进行目标图形试加工，修正目标图形尺寸，最后控制X、Y方向的自由度沿每个目标的轨迹进行内表面表层材料加工，同时Z方向自由度根据加工轨迹坐标高度的变化自动变焦，完成对深腔内表面表层材料的整体加工，得到带有目标图形的深腔内表面。本发明不仅适用于深腔内表面，在激光束发射路线不被干涉的情况下，可以适用于任何形状的工件。