[发明专利]基于同轴激光三角法与显微成像的位移传感器及应用有效
| 申请号： | 202210284990.0 | 申请日： | 2022-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN114858060B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 赵会宁;符晗;樊梦瑶;牛茹茹;于连栋;夏豪杰 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京科名专利代理有限公司 11468 | 代理人： | 陈朝阳 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了基于同轴激光三角法与显微成像的位移传感器及应用，其光路结构包括激光模组、反射镜、50/50分光镜、显微物镜、感光元件，激光模组的出射光垂直入射50/50分光镜，50/50分光镜的出射光束经反射镜水平入射显微物镜，经显微物镜聚焦后照射在被测平面上，产生的反射光和散射光被显微物镜接收并形成水平出射光束，依次经过反射镜和50/50分光镜作用后垂直照射在感光元件的感光区，形成光斑。本发明高精度位移传感器精度高达纳米级，可实现零部件尺寸和表面特征的高精度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 同轴 激光 三角 显微 成像 位移 传感器 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥工业大学，未经合肥工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210284990.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
