[发明专利]一种嵌有标准具的无研合双端面量块量值测量系统在审

专利信息
申请号: 202210281839.1 申请日: 2022-03-22
公开(公告)号: CN114608452A 公开(公告)日: 2022-06-10
发明(设计)人: 张宝武;欧阳烨锋;张成悌;薛靓;汤江文;付天坤 申请(专利权)人: 中国计量大学
主分类号: G01B11/02 分类号: G01B11/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 310018 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种嵌有标准具的无研合双端面的量块量值测量系统,它由一套双测量臂的白光干涉仪构成。其测量步骤为:在干涉仪的分光光路前增加一套平行光系统并设置标准具;调整两测量光路至共轴共路,分别垂直入射至量块的两个测量面;调整两个相干光路,出现单色干涉条纹后增加白光照明,微调调整参考反射镜,得到参考面的零次干涉带与被测面的零次干涉带,据此求出量块与标准具尺寸差,加上环境条件的修正,得到被测量块的准确尺寸。整个系统封装在同一环境中以保证系统空气折射率一致,并使各项环境参数满足JJG 146‑2003量块检定规程的要求。本发明提高了量块测量精度与效率,不磨损量块,易于实现测量的自动化与半自动化,可用于精密测量。
搜索关键词: 一种 标准 无研合双 端面 量块 量值 测量 系统
【主权项】:
暂无信息
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