[发明专利]计算基于扫描电镜的双探测器三维成像深度的方法及系统在审
| 申请号： | 202210277934.4 | 申请日： | 2022-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN114693871A | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 杨湛;房梁;卞卫国;瞿志;张略;陈涛;孙立宁 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G06T17/00 | 分类号： | G06T17/00;G06T7/55;G06T5/00;G06T7/33;G06T7/00;G06T7/80;G06T3/40;G06N3/04;G06N3/08 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 李柏柏 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种计算基于扫描电镜的双探测器三维成像深度的方法，包括标定具有第一探测器和第二探测器的扫描电镜的参数；使用扫描电镜拍摄样品图像，对得到的第一原始图像和第二原始图像进行去噪，对第一原始图像和第二原始图像进行训练学习，输出第一图像和第二图像；分别提取第一图像和第二图像的特征点并对其进行匹配；将第一图像和第二图像上的对应点约束到同一水平线上，得到第一校准图像和第二校准图像；计算第一校准图像和第二校准图像的视差；根据视差结果和两个探测器的夹角建立视差‑深度的映射关系并计算得到深度信息。本发明结合SEM内部的双探测器拍摄图像，计算出图像的深度，降低操作的难度，节省时间，且能够提高装配精度和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 计算 基于 扫描电镜 探测器 三维 成像 深度 方法 系统 | ||
【主权项】：
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