[发明专利]用于检查半导体样本的图像生成在审
| 申请号： | 202210277103.7 | 申请日： | 2022-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN115187641A | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | D·尤里尔;Y·阿夫尼尔;B·M·斯卡里亚;O·福克斯-卡哈纳;G·D·古特曼;A·巴尔丁格;M·莫斯利曼尼;E·利多 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | G06T7/33 | 分类号： | G06T7/33;G06T7/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 张鑫;侯颖媖 |
| 地址： | 以色列瑞*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请公开了用于检查半导体样本的图像生成。提供一种检查半导体样本的系统和方法，包括：获得所述样本的区域的帧序列，所述帧序列由被配置成从多个方向扫描所述区域的电子束工具获取，所述序列包括多个帧组，每组帧从相应方向获取；以及配准所述多个帧组，并且基于所述配准的结果产生所述样本的图像，包括：针对每个方向，在从所述方向获取的所述帧组之间执行第一配准，并且将经配准的帧组组合以生成第一复合帧，从而产生分别对应于所述多个方向的多个第一复合帧；以及在所述多个第一复合帧之间执行第二配准，并且将经配准的多个第一复合帧组合以生成所述样本的所述图像。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检查 半导体 样本 图像 生成 | ||
【主权项】：
暂无信息
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