[发明专利]一种超大晶粒的铂薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202210262574.0 | 申请日： | 2022-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN114752892A | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 蒲健;陈茂;冯江涛;池波 | 申请（专利权）人： | 江苏精瓷智能传感技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/18 | 分类号： | C23C14/18;C23C14/35;C23C14/58 |
| 代理公司： | 常州市夏成专利事务所(普通合伙) 32233 | 代理人： | 张经纶 |
| 地址： | 213000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及薄膜的技术领域，尤其涉及一种超大晶粒的铂薄膜及其制备方法。使用常规的磁控溅射方法制备铂薄膜，并使用氩气和氧气的混合气体作为溅射载气，通过调节溅射时氩气和氧气混合气体中氧气的含量，进而调节沉积态铂薄膜中的“氧含量”，并与薄膜后续的热处理温度和热处理气氛相配合，主要调整薄膜晶粒长大过程中的表面能和应变能，使得其在热处理的某一阶段，具有特定取向的晶粒具有热力学或动力学方面的生长优势，从而不断消耗周围的小晶粒而异常长大，直至异常长大的晶粒相互接触，最终获得晶粒尺寸大、且晶粒分布均匀的铂薄膜。本发明的制备方法简单，制备的铂薄膜结构缺陷少，具有优良的电学性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超大 晶粒 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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