[发明专利]超导量子干涉仪及其制备方法在审
| 申请号： | 202210262323.2 | 申请日： | 2022-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN114709326A | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 王仕建;高鹤;李劲劲;王雪深;徐达;钟青 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | H01L39/22 | 分类号： | H01L39/22;H01L39/02;H01L39/06;H01L39/24 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 颜潇 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种超导量子干涉仪及其制备方法，所述超导量子干涉仪包括：衬底；地线层，形成于衬底的表面；第一绝缘层，形成于地线层远离衬底的表面；约瑟夫森结，包括依次层叠的第一超导层、第二绝缘层和第二超导层，作为底电极；第三绝缘层，覆盖裸露的第一绝缘层及约瑟夫森结，第三绝缘层内设有第三通孔及第四通孔，第三通孔暴露出第一超导层，第四通孔暴露底电极；电阻，形成于第三绝缘层远离第一绝缘层的表面；第三超导层，覆盖第三绝缘层填满第三通孔和第四通孔，作为顶电极；第三超导层内设置有开口，开口将第三超导层分隔为通过电阻连接的两部分。通过增设地线超导层，使钉扎的磁通量子限制在第一通孔中，从而降低磁通钉扎的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 超导 量子 干涉仪 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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