[发明专利]一种曲率和阈值温度集成传感器在审
| 申请号： | 202210253461.4 | 申请日： | 2022-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN114623759A | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 韩磊;江雪;高初缘 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01B7/28 | 分类号： | G01B7/28;G01K7/34 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 孙建朋 |
| 地址： | 211102 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种曲率和阈值温度集成传感器，双端固支梁两端分别与第一固支梁锚区和第二固支梁锚区连接，金属极板放置于双端固支梁中心位置下方的柔性基板上，第一平面电感两端分别与第一固支梁锚区和金属极板的一端连接；金属极板的另一端与第一触点连接，第一触点与第二触点不接触相对放置，触头与第一触点和第二触点不接触悬空放置，与V形梁尖端连接，V形梁的两端分别与第一V形梁锚区和第二V形梁锚区连接；第二平面电感分别与第二触点和第二双端固支梁锚区连接。本发明利用双端固支梁与V形梁的结构特点，将曲率引起的电容变化以及温度引起的电感变化转换为LC谐振回路的谐振频率变化，实现阈值温度和曲率的并行测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曲率 阈值 温度 集成 传感器 | ||
【主权项】：
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