[发明专利]45°硅基反射镜及其制作方法在审
| 申请号： | 202210237801.4 | 申请日： | 2022-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN114594540A | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 费孝斌;黄寓洋 | 申请（专利权）人： | 苏州苏纳光电有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 赵世发 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种45°硅基反射镜及其制作方法。所述制作方法包括：使100晶面的硅片的表面沿110方向定向腐蚀产生倾斜面以及沿100方向定向腐蚀产生平行面，获得反射镜集合体；从所述反射镜集合体上切割分离获得反射镜前体；将所述反射镜前体中倾斜面的粗糙度等级抛光至镜面级；从抛光后的所述反射镜前体中切割分离获得45°硅基反射镜。本发明提供的制作方法通过腐蚀，先得到45°的基础面，再通过冷加工的方法，将45°斜面抛光至镜面级，弥补了目前的技术不足，大大提升了硅基反射镜的反射率，工艺过程以及反射镜的结构简单，显著降低了制作成本，满足了广泛应用的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 45 反射 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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