[发明专利]光电探测结构及光电集成芯片

摘要

本申请公开了一种光电探测结构及光电集成芯片，其旨在通过在波导层的硅基部分内设置第一掺杂体和第二掺杂体以实现光电转换，其中，第一掺杂体包括多个第一指状电极，第二掺杂体包括多个第二指状电极，并且多个第一指状电极和多个第二指状电极以梳齿状互插的形式间隔排布，以构成波导区域，锗层位于波导区域之上并且与多个第一指状电极以及与多个第二指状电极接触，以有效提取出流入锗层内部的光电流，从而使得光电探测结构具有较高的灵敏度和响应度。