[发明专利]一种单晶炉及一种单晶有效
申请号: | 202210215062.9 | 申请日: | 2022-03-03 |
公开(公告)号: | CN114574943B | 公开(公告)日: | 2023-09-08 |
发明(设计)人: | 徐志群;汪奇;孙彬;张振忠 | 申请(专利权)人: | 高景太阳能股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 牛丽霞 |
地址: | 519000 广东省珠海市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请公开一种单晶炉及一种单晶,涉及半导体技术领域,能够提高单晶生产的整棒率。具体方案包括:该单晶炉包括炉体和炉盖,炉体中设有:坩埚;保温筒,保温筒包括上保温筒,上保温筒位于坩埚的顶部,坩埚与保温筒连通;环状保温台,环状保温台设置于保温筒的顶端;隔离筒,隔离筒设置于环状保温台远离坩埚的平面上,且隔离筒的顶端与炉盖之间存在预设间隙。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 | ||
【主权项】:
暂无信息
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