[发明专利]一种单晶炉及一种单晶有效

专利信息
申请号: 202210215062.9 申请日: 2022-03-03
公开(公告)号: CN114574943B 公开(公告)日: 2023-09-08
发明(设计)人: 徐志群;汪奇;孙彬;张振忠 申请(专利权)人: 高景太阳能股份有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 牛丽霞
地址: 519000 广东省珠海市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本申请公开一种单晶炉及一种单晶,涉及半导体技术领域,能够提高单晶生产的整棒率。具体方案包括:该单晶炉包括炉体和炉盖,炉体中设有:坩埚;保温筒,保温筒包括上保温筒,上保温筒位于坩埚的顶部,坩埚与保温筒连通;环状保温台,环状保温台设置于保温筒的顶端;隔离筒,隔离筒设置于环状保温台远离坩埚的平面上,且隔离筒的顶端与炉盖之间存在预设间隙。
搜索关键词: 一种 单晶炉
【主权项】:
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