[发明专利]一种晶圆侧边影像检测装置在审
| 申请号： | 202210167185.X | 申请日： | 2022-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN114460009A | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 苏州矽行半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京千壹知识产权代理事务所(普通合伙) 11940 | 代理人： | 王玉玲 |
| 地址： | 213166 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种晶圆侧边影像检测装置，属于半导体检测领域，装置包括影像采集机构、晶圆载台和控制器，影像采集机构距离可调的正对晶圆载台设置，晶圆载台高度可调的旋转支撑多种规格的晶圆，通过控制器控制晶圆载台带动被测晶圆旋转，并控制影像采集机构完成对晶圆全周侧的影像采集；装置设置多个影像采集机构围绕晶圆载台周向均布的设置；以此提高晶圆侧边影像采集的精度和效率，便于在半导体检测领域中推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 侧边 影像 检测 装置 | ||
【主权项】：
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