[发明专利]一种基于静电驱动新型MOEMS陀螺仪及其加工方法在审
| 申请号： | 202210157961.8 | 申请日： | 2022-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN114459450A | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 夏敦柱;杨秀华;赵立业 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656;G01C19/5663;B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 许小莉 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于静电驱动新型MOEMS陀螺仪及其加工方法，MOEMS陀螺仪包括器件层、金属引线层和衬底层，金属引线层介于器件层和衬底层之间。器件层包括机械模块、静电驱动模块、光学敏感模块和支撑框架。其中机械模块由质量块、驱动弹簧梁、敏感弹簧梁和解耦框架构成；静电驱动模块由两组驱动梳齿结构组成；光学敏感模块主要由集成波导、二维光子晶体和机械敏感单元组成；质量块在静电力驱动下沿着驱动轴方向振动，在外加角速度下使机械敏感单元发生位移变化，通过光信号进入集成波导经过二维光子晶体耦合入机械敏感单元，检测输出集成波导出射的光信号变化。本发明结构集成度高、封装尺寸小、低功耗、易于制造和易于携带等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 静电 驱动 新型 moems 陀螺仪 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
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