[发明专利]一种高纯超薄高强度氧化铝陶瓷基板及其制备方法和应用在审

专利信息
申请号: 202210143058.6 申请日: 2022-02-16
公开(公告)号: CN114538900A 公开(公告)日: 2022-05-27
发明(设计)人: 王正娟;周国红;夏金峰;薛振海;胡松;张海龙;黄德信;王士维 申请(专利权)人: 中国科学院上海硅酸盐研究所
主分类号: C04B35/10 分类号: C04B35/10;C04B35/632;C04B35/634;H01L21/48;H01L23/15
代理公司: 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 代理人: 曹芳玲;简丹
地址: 200050 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供一种高纯超薄高强度氧化铝陶瓷基板,包括以下原材料组分和各原材料组分的重量份数:氧化铝粉体100重量份;醇和酯的混合有机溶剂55‑70重量份;分散剂1‑2重量份;粘结剂9‑11重量份;增塑剂1.5‑5.5重量份;其中,所述氧化铝粉体为纯度≥99.9%、粒径D50在200‑500nm的高纯α相氧化铝粉体,所述氧化铝陶瓷基板的厚度为0.12‑1.10mm,体积密度≥3.88g/cm3,弯曲强度≥550MPa。本发明还提供如上所述的高纯超薄高强度氧化铝陶瓷基板的制备方法和在薄膜集成电路中的应用。
搜索关键词: 一种 高纯 超薄 强度 氧化铝陶瓷 及其 制备 方法 应用
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