[发明专利]用于涂覆粘合剂的丝网结构以及使用其固定SiC籽晶的方法在审
| 申请号： | 202210134816.8 | 申请日： | 2022-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN114635185A | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 占俊杰;余雅俊;陈素春;徐良;刘建哲;夏建白;李京波;潘安练;林骞 | 申请（专利权）人： | 浙江富芯微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 张晓玲 |
| 地址： | 321000 浙江省金华市婺城区秋*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于涂覆粘合剂的丝网结构，该丝网结构通过环形涂胶挡板和丝网来限定粘合剂层的厚度，使得粘合剂层厚度均匀，从而使得籽晶和坩埚盖之间存在均匀间隙，保证籽晶各个区域温度受热均匀，使碳化硅能够均匀生长，同时能够抑制籽晶背面多晶生长升华，避免带来微管缺陷。另外，均匀间隙的存在还能够满足籽晶在加热生长过程中释放内应力的需求，避免随着籽晶上的单晶生长，表面机械应力和热应力增加而造成籽晶变形甚至破裂。此外，本发明还涉及使用上述丝网结构固定SiC籽晶的方法，该方法通过丝网将粘合剂均匀涂刷于坩埚盖上并且在所得粘合剂层的上表面高度大于或等于丝网的下表面高度时停止涂刷，去除丝网结构后得到厚度均匀的粘合剂层。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 粘合剂 丝网 结构 以及 使用 固定 sic 籽晶 方法 | ||
【主权项】：
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