[发明专利]垂直腔面发射激光器的形成方法在审
| 申请号： | 202210131574.7 | 申请日： | 2022-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN114188820A | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 姜清华;黄玺 | 申请（专利权）人： | 常州承芯半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/24;H01S5/343 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 朱得菊;徐文欣 |
| 地址： | 213166 江苏省常州市武*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种垂直腔面发射激光器的形成方法，涉及半导体激光器领域，包括：提供衬底；在衬底表面依次形成第一反射镜结构、有源层、以及第二反射镜结构；在第二反射镜结构顶部表面形成第一钝化层；在第一钝化层表面形成初始光刻胶层；采用半色调掩膜板对初始光刻胶层进行图形化以形成图形化的光刻胶层，图形化的光刻胶层内具有第一凹槽和第二凹槽，第一凹槽的深度小于光刻胶层的深度；以光刻胶层为掩膜刻蚀光刻胶层、第一钝化层、第二反射镜结构、有源层和第一反射镜结构，在第一凹槽底部的第一钝化层内形成第三凹槽，在第一钝化层内、第二反射镜结构内、有源层内和第一反射镜结构内形成位于第二凹槽底部的第四凹槽。所述方法简化了工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直 发射 激光器 形成 方法 | ||
【主权项】：
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