[发明专利]一种高纯度的钨钛合金靶材的制备方法有效
| 申请号： | 202210114912.6 | 申请日： | 2022-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN114619038B | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 曲选辉;李星宇;章林;熊宁;王广达;刘国辉;秦明礼;陈刚;张百成;魏子晨;阙忠游;杨军军 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学;安泰天龙钨钼科技有限公司;安泰科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B22F9/22 | 分类号： | B22F9/22;B22F3/14;B22F3/24;C23G1/10;C01G41/00;C23C14/34;B22F1/12;C22C27/04;C22C1/05 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 岳野 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于先进金属材料制备研究领域，涉及一种高纯度的钨钛合金靶材的制备方法。该制备方法步骤为：提纯仲钨酸铵；合成钨钛合金粉末；将得到钨钛合金粉末装入模具进行多阶段真空热压烧结，得到靶材坯；对得到的靶材坯进行表面酸洗纯净化，最终获得具有高致密度的高纯度钨钛合金靶材。本发明的方法通过粉体一次纯化、烧结过程二次纯化以及表面纯净化的有针对性、全流程系统高纯化技术。具有制造工艺简单，对设备要求不高，无需后续塑性加工处理，实现了有针对性、全流程的系统提纯，得到的钨钛合金靶材能满足高密度（致密度99.5%）、高纯度（纯度99.999%）的应用需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纯度 钛合金 制备 方法 | ||
【主权项】：
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