[发明专利]一种碳基体的涂层及其制备方法与应用有效
| 申请号： | 202210111120.3 | 申请日： | 2022-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN114368984B | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 陈豆;潘刘晨;马远;潘尧波 | 申请（专利权）人： | 中电化合物半导体有限公司 |
| 主分类号： | C04B41/89 | 分类号： | C04B41/89 |
| 代理公司： | 上海汉之律师事务所 31378 | 代理人： | 陈强 |
| 地址： | 315336 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种碳基体的涂层及其制备方法与应用，所述制备方法，至少包括以下步骤：将水凝胶和有机硅烷混合，形成混合物；将所述混合物涂敷于所述碳基体的表面，形成第一涂层；将有机钽溶液涂敷于所述第一涂层上，形成第二涂层，且所述第二涂层与所述第一涂层形成复合涂层；以及将所述复合涂层加热并退火处理，形成所述碳基体的涂层。本发明提供的一种碳基体的涂层及其制备方法与应用，能有效改善碳化硅晶体生长过程中原料对石墨坩埚的腐蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基体 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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