[发明专利]一种能够产生贝塞尔光束的集成式垂直腔面发射激光器芯片的制备方法及芯片在审
| 申请号： | 202210087489.5 | 申请日： | 2022-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN114447765A | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 潘冠中;荀孟;孙昀;赵壮壮;周静涛;吴德馨 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 王胜利 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种能够产生贝塞尔光束的集成式垂直腔面发射激光器芯片的制备方法及芯片，涉及半导体激光器技术领域。能够产生贝塞尔光束的集成式垂直腔面发射激光器芯片的制备方法包括：采用垂直腔面发射激光器作为激光源；通过控制垂直腔面发射激光器的横向模式分布，制备具有不同激射模式的目标垂直腔面发射激光器作为目标激光源；在目标垂直腔面发射激光器表面集成圆锥透镜，以供圆锥透镜对目标激光源发出的光束进行相位调制，确定不同激射模式对应的贝塞尔光束，得到能够产生贝塞尔光束的集成式垂直腔面发射激光器芯片，可以获得集成度高、体积小、重量轻、结构紧凑、能够产生贝塞尔光束的集成式垂直腔面发射激光器芯片。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 能够 产生 贝塞尔 光束 集成 垂直 发射 激光器 芯片 制备 方法 | ||
【主权项】：
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