[发明专利]基板支架系统及使用基板支架的方法在审
| 申请号： | 202210061591.8 | 申请日： | 2022-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN114769187A | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 蔡昱祺;郭爵旗 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;B08B13/00;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种基板支架及使用基板支架的方法，在一极紫外线辐射微影系统中使用的静电基板支架包括一基板接收表面，该基板接收表面具有与一可变气体压力泵流体连通的多个气体通路。改变该基板的背侧与该基板支架的该基板接收表面之间的一孔隙空间中的压力促进该基板的该背侧与该基板支架的该基板接收表面之间的该孔隙空间内的非气态材料的移除。 | ||
| 搜索关键词： | 支架 系统 使用 方法 | ||
【主权项】：
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