[发明专利]MEMS器件的微机械薄膜结构及MEMS器件在审
| 申请号： | 202210061114.1 | 申请日： | 2022-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN114477069A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 刘泽文;张玉龙 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS器件的微机械薄膜结构及MEMS器件，微机械薄膜结构包括：衬底；锚点座，锚点座设在衬底上；弹性薄膜组件，弹性薄膜组件包括薄膜件和应力吸收件，应力吸收件设在薄膜件上以吸收引发薄膜件蠕变的应力，薄膜件和应力吸收件二者中的一者设在锚点座上。本发明通过设置应力吸收件吸收引发薄膜件蠕变的应力，使弹性薄膜组件上的集中应力得到释放或均匀化处理，从而改善抗蠕变特性，避免MEMS器件的性能发生漂移。 | ||
| 搜索关键词： | mems 器件 微机 薄膜 结构 | ||
【主权项】：
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