[发明专利]半导体器件的测试方法以及测试装置在审
| 申请号： | 202210060735.8 | 申请日： | 2022-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN114496059A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 于奎龙;李喜强;豆平涛;管琪;卢志刚;韩坤 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G11C29/56 | 分类号： | G11C29/56;G06F11/22 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 李镇江 |
| 地址： | 430205 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种半导体器件的测试方法以及测试装置，测试方法包括：将半导体器件连接至测试装置，之后，将增量步进脉冲操作中的其中一级操作电压作为预设操作电压，并根据增量步进脉冲操作的操作脉冲数量、操作电压倍数因子以及操作温度倍数因子，计算得到预设脉冲数量，最后，以预设脉冲数量的预设操作电压，对半导体器件进行预设次数的编程和擦除，本发明提供的半导体器件的测试方法，通过以预设操作电压对半导体器件进行编程和擦除，使得半导体器件的外围高压电路可以接收到充分的电压应力，从而，半导体器件在测试后所呈现出的应力表征会更加准确，提高了测试结果的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体器件 测试 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
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