[发明专利]一种单晶炉多次加料系统及加料方法有效
| 申请号： | 202210048483.7 | 申请日： | 2022-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN114438584B | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 王晓明;宋涛 | 申请（专利权）人： | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/02 | 分类号： | C30B15/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 221000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶炉多次加料系统及加料方法，所述加料系统包括：移动式送料单元，所述移动式送料单元包括料罐，所述料罐上端设有抽气口和进气口，所述抽气口通过气动阀一与副泵连通，所述进气口与氩气气源连通；接料单元，所述接料单元用于缓冲接收移动式送料单元传送的硅料，并将硅料传送至单晶炉内，所述接料单元可拆卸固定于单晶炉的炉盖上；加料控制系统，所述加料控制系统单晶炉PLC控制系统通讯连接，用于监控单晶炉PLC控制系统的变量以及加料控制。本发明利用真空气力输送的原理，实现单晶炉生产过程中的多次加料，实现将单晶硅棒的长度最大化，可以节约大量成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 多次 加料 系统 方法 | ||
【主权项】：
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