[发明专利]一种太赫兹MEMS可重构功分器及其实现方法有效
| 申请号： | 202210041514.6 | 申请日： | 2022-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN114389001B | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 于伟华;彭洪;吕昕 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学;北京理工大学重庆微电子中心 |
| 主分类号： | H01P5/12 | 分类号： | H01P5/12 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理有限公司 11360 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种太赫兹MEMS可重构功分器及其实现方法。本发明采用第一和第二矩形波导设置在第一耦合波导的上端，第三和第四矩形波导设置在第二耦合波导的下端，通过第一和第二级联波导连接第一和第二耦合波导构成太赫兹波导功分器，MEMS角度执行器嵌入至第一和第二耦合波导内，通过向MEMS角度执行器的双晶片悬臂梁阵列施加偏置电压控制金属面旋转的角度；通过偏置电压调节MEMS角度执行器的角度，实现太赫兹波导功分器的输出功率比连续可调，同时，在不同的角度下分别具有太赫兹等分功分器、太赫兹10dB耦合器和太赫兹开关的功能；具备功率调节和功能复用的优势，能够应用于太赫兹阵列天线的增益调节、波束扫描和赋形。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 赫兹 mems 可重构功分器 及其 实现 方法 | ||
【主权项】：
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