[发明专利]一种精确引导生长高均一性直径纳米线的方法在审
| 申请号： | 202210041211.4 | 申请日： | 2022-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN114400248A | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 余林蔚;程银子;刘宗光;梁逸飞;胡瑞金;王军转 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 南京乐羽知行专利代理事务所(普通合伙) 32326 | 代理人： | 李培 |
| 地址： | 210000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种精确引导生长高均一性直径纳米线的方法，包括以下几个步骤：通过PECVD于垂直方向交替沉积多层SiO |
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| 搜索关键词： | 一种 精确 引导 生长 均一 直径 纳米 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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