[发明专利]在陶瓷表面进行红外超快激光精密标刻的方法和系统

摘要

本发明提供一种在陶瓷表面进行红外超快激光精密标刻的方法和系统，包括步骤：1)将陶瓷工件置于工作台上；2)将激光器设于工作台的一侧；3)锁定发射频率为10KHz‑200KHz之间的一定值；4)所述激光器发射的超快激光，经过整形光路放大光束尺寸、再经过光束传输光路输入到振镜、再经过场镜后聚焦在工作台上的陶瓷工件表面；5)在软硬件控制器的控制下，设置激光参数和加工参数，控制激光束X、Y、Z轴的移动，完成陶瓷表面图案的激光标刻。本发明基于锁定的高重复频率、单脉冲工作、高单脉冲能量、单脉冲能量一致性高的超快激光标刻方法，光子均匀，在时域上表现唯一，聚焦超精细，均匀光叠加形成纳米级别的加工面，提高了标刻精度。