[发明专利]超薄PET膜表面非晶四面体碳结构的涂层工艺在审
| 申请号： | 202210030407.3 | 申请日： | 2022-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN114540761A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 刘春雨 | 申请（专利权）人： | 苏州市彩衣真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京知果之信知识产权代理有限公司 11541 | 代理人： | 高科 |
| 地址： | 215144 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种超薄PET膜表面非晶四面体碳结构的涂层工艺，其特征在于，包括以下步骤：(1)提供基材，在使用时，对PET薄膜进行预处理，随后放入磁控溅射镀膜机内；(2)采用离子化物理气相沉积工艺(IPVD)对靶材进行溅射，沉降过程中施加一个方向控制电场，使得碳层晶粒沉积方向一致；(3)基材层的上方增设一个筛选磁场，使最后从筛选出来的碳离子以相同的速度落入到基材上；(4)溅射完成后，自然冷却至室温后取出镀膜后的产品。本申请对溅射镀膜中沉积离子进行筛选和速度处理，保证落入到基材上的离子处于纯净的状态，保证基材镀膜的质量，同时基材可进行平面内的移动，保证离子沉积的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 超薄 pet 表面 四面体 结构 涂层 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州市彩衣真空科技有限公司，未经苏州市彩衣真空科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210030407.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
