[发明专利]一种刀具镀膜工艺及设备在审
| 申请号： | 202210029918.3 | 申请日： | 2022-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN114293144A | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 田修波;郑礼清;宋光耀;李建伟;王进平 | 申请（专利权）人： | 松山湖材料实验室 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 宋家会 |
| 地址： | 523808 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种刀具镀膜工艺及设备，涉及金属表面处理领域。刀具镀膜工艺包括以下步骤：对刀具基底进行预处理；对刀具基底进行气体离子清洗；采用高能脉冲磁控溅射技术对金属靶材进行磁控溅射，形成金属离子，配合脉冲偏压的脉冲控制金属离子对刀具基底进行刻蚀清洗；依次在刀具基底表面沉积金属碳化物层和碳膜层，且金属碳化物层的厚度不大于500nm。对刀具基底进行气体离子清洗后，对刀具基底进行金属离子刻蚀清洗，能够有效地增加刀具基底与碳膜层之间的结合力，从而在确保刀具基底与碳膜层稳定结合的前提下，降低金属碳化物层的厚度，使金属碳化物层的厚度不大于500nm，避免刃口因过厚而变钝，保证刃口的锋利度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刀具 镀膜 工艺 设备 | ||
【主权项】：
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