[发明专利]一种三棱柱衬底及压电振膜部分悬浮设置的压电麦克风在审
| 申请号： | 202210020039.4 | 申请日： | 2022-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN114363747A | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 韩根全;姚丹阳;刘艳;蒋智 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学杭州研究院 |
| 主分类号： | H04R1/08 | 分类号： | H04R1/08;H04R7/02;H04R17/02 |
| 代理公司： | 陕西电子工业专利中心 61205 | 代理人： | 田文英;王品华 |
| 地址： | 311200 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种三棱柱衬底及压电振膜部分悬浮设置的压电麦克风，包括置于衬底上表面的绝缘支撑层、分别置于绝缘支撑层两侧的第一、第二压电振膜。衬底采用长方体或者相距一定距离且两底面上有两边相等的三棱柱体形状相同的立体结构。所述两个结构相同的衬底均为每个压电振膜以极少部分设置在绝缘支撑层上，其余部分悬浮设置。本发明解决了现有技术中存在空腔大小不足、麦克风灵敏度不高、实现声源识别能力需采用大面积压电振膜但声源识别能力不高的问题，使得本发明具有更小的面积与更好的声源识别能力的优点。本发明在实际应用于系统芯片中时，不仅占用面积小同时具有更高的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 棱柱 衬底 压电 部分 悬浮 设置 麦克风 | ||
【主权项】：
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