[发明专利]一种柔性神经电极及其制备方法、脑机接口在审
| 申请号： | 202210002988.X | 申请日： | 2022-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN114376580A | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 陶虎;周志涛;朱子懿;孙鎏炀 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | A61B5/293 | 分类号： | A61B5/293;A61B5/369 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 王若愚 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种柔性神经电极及其制备方法、脑机接口，该方法包括：获取硅衬底；于硅衬底上形成牺牲层；在第一旋涂工艺条件下，于牺牲层上形成第一聚酰亚胺层；于第一聚酰亚胺层上形成探测电极阵列；在第二旋涂工艺条件下，于探测电极阵列上形成第二聚酰亚胺层；第二聚酰亚胺层的厚度大于各探测电极的厚度；于第二聚酰亚胺层上形成硬掩膜层；对硬掩膜层和第二聚酰亚胺层进行刻蚀，以露出各探测电极的部分表面；去除硬掩膜层，并释放牺牲层，使得硅衬底脱落，得到柔性神经电极。本申请可以降低柔性神经电极的整体厚度，进而可以提高器件柔性水平，减少神经电极植入大脑后对大脑的损伤，并进一步提升神经电极长期在体植入的可行性、可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 神经 电极 及其 制备 方法 接口 | ||
【主权项】：
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