[发明专利]光学位移传感器在审
| 申请号： | 202180083878.4 | 申请日： | 2021-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN116635691A | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 哈康·萨格柏格;马修·拉科尔 | 申请（专利权）人： | 挪威商声熙贝尔公司 |
| 主分类号： | G01B9/02015 | 分类号： | G01B9/02015 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人： | 许伟群;李少丹 |
| 地址： | 挪威*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光学位移传感器(2)，其包括反射面(4)和一个或多个衍射光栅(6)，所述一个或多个衍射光栅与所述反射面一起各自定义相应的干涉布置。所述反射面(4)相对于所述衍射光栅(6)是移动的，或反之亦然。来自光源(8)的光经由所述干涉布置传播，以在相应的一组光检测器(10)处产生干涉图样。每个干涉图样取决于所述反射面(4)与所述相应光栅(6)之间的间隔。准直光学布置(14)至少部分地准直所述光源(8)与所述衍射光栅(6)之间的所述光。对于所述干涉布置或每个干涉布置，当所述反射面(4)或所述衍射光栅(6)处于零位移位置时，在所述衍射光栅(6)与所述反射面(4)之间传播的所述光的光程长度L满足以下关系：以在j的20％以内，其中n是整数；其中Tz是Talbot长度，定义为：其中λ是所述光的波长，并且其中p是相应的衍射光栅(6)的光栅周期。替代地，L可满足：以在p的20％以内，其中m是奇整数。另外地或替代地，所述光学位移传感器(34；112)可包括两个或更多个衍射光栅(44、46；116)并且可构造成使用分束布置(48；126)或多个光源元件向每个光栅(44、46；116)提供相应的单独光束(62、64；132)。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 位移 传感器 | ||
【主权项】：
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