[发明专利]抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法在审
| 申请号： | 202180083350.7 | 申请日： | 2021-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN116745699A | 公开（公告）日： | 2023-09-12 |
| 发明（设计）人： | 高木大地;中村刚;板垣友祐 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 毛立群 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
一种抗蚀剂组合物，含有基材成分(A)、产酸剂成分(B)、可光降解的碱(D0)，可光降解的碱(D0)包含以通式(d0‑1)表示的化合物(D01)及以通式(d0‑2)表示的化合物(D02)。式中，Rd |
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| 搜索关键词： | 抗蚀剂 组合 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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