[发明专利]基于机器学习的测量配方优化的动态控制在审
| 申请号： | 202180064711.3 | 申请日： | 2021-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN116324393A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | S·I·潘戴夫;A·杰亚瑞曼 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文中描述用于在动态控制多个性能目标的收敛轨迹时训练及实施计量配方的方法及系统。采用性能度量以正则化在测量模型训练、基于模型的回归或两者期间采用的优化过程。在模型训练期间动态控制与模型优化的损失函数中的所述性能目标中的每一者相关联的加权值。以此方式，控制每一性能目标的收敛及所述损失函数的多个性能目标之间的权衡以按稳定、平衡方式得到经训练测量模型。采用经训练测量模型以基于具有一或多个所关注参数的未知值的结构的测量来估计所关注参数的值。另一方面，动态控制与测量模型上的基于模型的回归中的所述性能目标中的每一者相关联的加权值。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 机器 学习 测量 配方 优化 动态控制 | ||
【主权项】：
暂无信息
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