[发明专利]驱动和感测应力释放装置在审
| 申请号： | 202180057231.4 | 申请日： | 2021-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN116075728A | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | G·沃赫拉 | 申请（专利权）人： | 美国亚德诺半导体公司 |
| 主分类号： | G01P15/02 | 分类号： | G01P15/02 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘倜 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种MEMS装置，包括：质量块，被配置为沿着第一轴和基本上垂直于所述第一轴的第二轴移动；驱动结构，耦合到所述质量块并且被配置为使所述质量块沿着所述第一轴移动；感测结构，耦合到所述质量块并被配置为检测所述质量块沿着所述第二轴的运动；应力释放结构，耦合到所述驱动结构或所述感测结构之一；和至少一个锚，耦合到MEMS装置的底层基底，其中应力释放结构耦合到至少一个锚，并且至少一个锚设置在应力释放结构外部。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动 应力 释放 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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