[发明专利]单取代的环戊二烯及金属环戊二烯基络合物及其合成方法在审
申请号: | 202180052591.5 | 申请日: | 2021-08-10 |
公开(公告)号: | CN115989209A | 公开(公告)日: | 2023-04-18 |
发明(设计)人: | 格里戈里·尼基福罗夫 | 申请(专利权)人: | 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司 |
主分类号: | C07C13/15 | 分类号: | C07C13/15 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 章愫;臧建明 |
地址: | 法国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 披露了单取代的环戊二烯、金属环戊二烯基络合物及其合成方法。所披露的单取代的环戊二烯通过选择性催化碳‑碳偶联反应合成。所披露的金属环戊二烯基络合物从所披露的单取代的环戊二烯合成。所披露的金属环戊二烯基络合物包括主族金属和过渡金属环戊二烯基络合物,并且可以作为包含在成膜组合物中的沉积前体用于半导体工业的膜沉积,如ALD、CVD、SOD等。 | ||
搜索关键词: | 取代 环戊二烯 金属环 戊二烯基 络合物 及其 合成 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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