[发明专利]低温泵在审
| 申请号： | 202180048476.0 | 申请日： | 2021-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN115836161A | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | G·萨雷克 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹真空泵有限责任公司 |
| 主分类号： | F04B37/08 | 分类号： | F04B37/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 邹龙辉;任霄 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种低温泵，其具有：泵入口；两级制冷机；第一级阵列，所述第一级阵列被布置成热耦合到所述两级制冷机的第一级；以及低温面板结构，所述低温面板结构耦合到所述两级制冷机的第二级。所述低温面板结构的表面具有涂覆有吸附剂材料的经涂覆部分和未涂覆吸附剂材料的其他部分。 | ||
| 搜索关键词： | 低温泵 | ||
【主权项】：
暂无信息
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