[发明专利]电镀钴、镍及其合金在审
| 申请号： | 202180048409.9 | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN115867695A | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 娜塔莉亚·V·杜比纳;泰伊·A·斯柏林;爱德华·C·欧普森斯基;乔纳森·大卫·里德 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | C25D7/12 | 分类号： | C25D7/12 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了在部分或完全制造的电子设备的互连件特征中的用于电镀钴、镍、及其合金的装置、系统和方法。在电镀期间，钴、镍、或其合金通过由下而上电填充机制填充特征。可能使用钴、镍、或其合金电填充的特征的示例包含微TSV、设备的触点和晶体管的某些栅极。电镀装置可能包含电镀槽与后电填充模块、退火室、等离子体预处理模块以及衬底预润湿模块中的每一者的一个或更多个实例。 | ||
| 搜索关键词： | 电镀 及其 合金 | ||
【主权项】：
暂无信息
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