[发明专利]用于首先确定气体混合物的热导率和/或比热容并其次确定气体混合物的密度和/或粘度的设备在审
申请号: | 202180048241.1 | 申请日: | 2021-06-21 |
公开(公告)号: | CN115867798A | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
发明(设计)人: | 亚历山大·梅赫杜伊;克里斯托夫·胡伯;阿纳斯塔西奥斯·巴达利斯;乔舒亚·里特 | 申请(专利权)人: | 特鲁达因传感器股份有限公司 |
主分类号: | G01N29/02 | 分类号: | G01N29/02 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 戚传江;穆森 |
地址: | 瑞士*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种设备,该设备包括:芯片(10;110),该芯片尤其是从SOI晶片制备,并且该芯片含有具有用于激励悬臂振荡的第一压电转换器(30;130)的第一可振荡悬臂(20;120),其中,第一悬臂(20)突出到芯片中的凹槽(11;111)中;至少一个第一温度传感器元件(42),其布置在悬臂侧上、在第一悬臂的端部分中以检测气体混合物的温度;至少一个第二温度传感器元件(50),其与第一悬臂(20;120)间隔开以检测气体混合物的温度;至少一个加热元件(44),其在悬臂(20;120)的自由端部分中,该加热元件通过至少一个凹槽部分与第二温度传感器元件分离;以及评估单元(60),其用于基于至少一个悬臂(20;120)的振荡特性或基于布置在悬臂侧上的第一温度传感器元件(42)和第二温度传感器元件(50;150,240)的测量温度值以及加热元件(44)的功耗来确定(20;120)气体混合物的密度和粘度以及还有热导率或比热容。 | ||
搜索关键词: | 用于 首先 确定 气体 混合物 热导率 热容 其次 密度 粘度 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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