[发明专利]感光性组合物、感光性干膜、带镀覆用铸模的基板的制造方法及镀覆造形物的制造方法在审
| 申请号： | 202180045119.9 | 申请日： | 2021-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN115917432A | 公开（公告）日： | 2023-04-04 |
| 发明（设计）人： | 岸本友辅;片山翔太 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;C25D5/02;G03F7/039;G03F7/20;G03F7/40 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 毛立群 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种能够形成尺寸均匀的镀覆造形物的、可利用光刻法形成镀覆用的铸模的化学放大型感光性组合物、具备由该化学放大型感光性组合物构成的感光性层的感光性干膜、使用所述化学放大型正型感光性组合物的带镀覆用铸模的基板的制造方法、使用通过上述方法制造的带铸模基板的镀覆造形物的制造方法。在包含利用活性光线或放射线的照射而产生酸的产酸剂(A)的化学放大型感光性组合物中掺混包含特定结构的香豆素化合物的香豆素化合物(C)。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 组合 镀覆 铸模 制造 方法 造形 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京应化工业株式会社，未经东京应化工业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202180045119.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
